《MEMS微結構動力學特性的尺度效應研究》是依託南京理工大學，由康新擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：MEMS微結構動力學特性的尺度效應研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：康新
- 依託單位：南京理工大學
- 批准號：10772086
- 申請代碼：A0812
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：34（萬元）
項目摘要
尺度效應問題是目前微電子機械系統(MEMS)所面臨的一個科學難題，已成為制約MEMS發展的一個主要因素。近年來，這個問題開始得到廣泛關注，相關研究工作也相繼展開。但從國內外文獻來看，這些工作目前還主要集中在靜態方面，動態方面的研究則很少見。而MEMS器件一般都具有運動部件，而且其失效往往發生在運動部件上。因此，對微結構動力學特性尺度效應的研究顯得更為重要，這直接關係到MEMS器件的穩定性和可靠性。本項目將採用現代光學測試技術和方法，並結合(超)聲波和PZT激勵技術，對微結構動力學特性的微尺度效應進行實驗研究；同時採用應變梯度彈性理論、空氣動力學理論及振動理論等對微結構的動力學特性進行理論分析，結合實驗結果和數值模擬，初步建立微尺度動力學模型。本項目的研究不僅可為逐步完善 MEMS的設計理論提供重要依據，促進我國MEMS產業的發展，同時對微結構動力學的建立和發展也將起到積極的推動作用。
