表面形貌分析儀

表面形貌分析儀是一種用於信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年1月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面形貌分析儀
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
• 啟用日期：2013年1月8日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

Z方向範圍: 0-327μm，精度≤0.1 nm ；台階高度重現性≤0.6nm； 探針半徑2um，壓力0.5 - 50mg可調、可恆定壓力控制 單次掃描長度最大80mm； 8英寸樣品台，定位精度2um。

主要功能

用於樣品表面的兩維和三維形貌，厚度，表面粗糙度，薄膜應力測量。