表面三維形貌分析儀

表面三維形貌分析儀是一種用於化學領域的分析儀器，於2017年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面三維形貌分析儀
• 產地：日本
• 學科領域：化學
• 啟用日期：2017年1月1日
• 所屬類別：分析儀器

技術指標

1、解析度：二維解析度要求達到0.12微米。垂直解析度0.01微米。 2、雷射光源：採用405nm短波長半導體雷射,壽命≥10000小時；雙光路共焦系統。 3、放大倍數108倍——17000倍。 4、精度要求：XY方向測量準確度要求：測量值的±2%以內；XY方向重複性要求：3σn-1=0.02um；Z方向測量準確度要求：0.2+L/100 um以下；（L=測量長度um），Z方向重複精度要求：σn-1=0.012um。

主要功能

長度、高度、角度、面積、體積測量；長距離（100mm）線粗糙度測量、面粗糙度測量以及3D圖像處理。