表面形貌分析儀

表面形貌分析儀

表面形貌分析儀是一種用於信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2013年1月8日啟用。

基本介紹

  • 中文名:表面形貌分析儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
  • 啟用日期:2013年1月8日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

Z方向範圍: 0-327μm,精度≤0.1 nm ;台階高度重現性≤0.6nm; 探針半徑2um,壓力0.5 - 50mg可調、可恆定壓力控制 單次掃描長度最大80mm; 8英寸樣品台,定位精度2um。

主要功能

用於樣品表面的兩維和三維形貌,厚度,表面粗糙度,薄膜應力測量。

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