三維光學顯微鏡是一種用於信息科學與系統科學、力學、物理學領域的分析儀器，於2015年6月7日啟用。
基本介紹
- 中文名：三維光學顯微鏡
- 產地：德國
- 學科領域：信息科學與系統科學、力學、物理學
- 啟用日期：2015年6月7日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 光學顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1.Z軸解析度： ≤ 0.1nm； 2.RMS重複性 ：≤ 0.01nm； 3.垂直測量範圍：0.1nm至10mm; 4.垂直掃描速度：47μm/s； 5.干涉物鏡：2.5倍，20倍； 6.干涉物鏡工作距離：3.5mm； 7.放大凝肯目鏡：2倍，1倍，0.55倍； 8.Z軸工作範圍100mm； （*）動態性能測量部分: A.驅動道埋她組頻率：0Hz (靜態); 11Hz to 2.4MHz； B.垂尋府殃直解析度：0.1nm； C.水平解析度：700nm； D.水平位移解析度：0.1 像奔漏故酷素； E.頻率解析度：頻率的0.0005%； F.相位解析度：≤10kHz時0.018°; 100kHz時0.18°; 1MHz時1.8°; 2.4MHz時4.3°； G.相位範圍：0 至 720° (連續)； H.驅動頻率波形：DC, 正弦波, 三角波, 方波洪紋燥, 自定義。
主要功能
可以進行全面的三維表面分析，能夠實時表征被想灶尋測對象的動態形態，設備運用白光干涉的原理，能夠以非接觸的方章影夜式測量激勵狀態下微納器件表面三維形貌特徵。
