三維光學干涉形貌儀

三維光學干涉形貌儀是一種用於航空、航天科學技術領域的物理性能測試儀器，於2007年10月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維光學干涉形貌儀
• 產地：美國
• 學科領域：航空、航天科學技術
• 啟用日期：2007年10月17日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 顆粒度測量儀器 > 孔隙度／比表面測量儀

技術指標

高度解析度：0.1 A。

主要功能

表面微觀形貌測試。