非接觸式三維尺寸掃瞄器

非接觸式三維尺寸掃瞄器是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器，於2019年12月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：非接觸式三維尺寸掃瞄器
• 產地：加拿大
• 學科領域：物理學、工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2019年12月11日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器

技術指標

波長：1310nm;掃描深度3.5mm;A-scan 頻率 2.10kHz; Z軸解析度：＜0.5um;光斑大小：4.1~146um;重複性：＜1um ;可測厚度範圍：10um~3.5mm。

主要功能

能夠對樣品的表面形貌、橫截面以及內部三維結構圖像進行檢測。可用於塗層厚度及均勻性、人工晶體形狀及厚度、多層塑膠膜厚、以及常規的二維和三維結構尺寸信息檢測。