三維光干涉形貌儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2016年06月12日啟用。
基本介紹
- 中文名：三維光干涉形貌儀
- 產地：美國
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2016年06月12日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 表面粗糙度基準裝置
技術指標,主要功能,
技術指標
視場:標準配置：0.04-16mm，跟物鏡和放大倍率有關,運用圖像拼接技術可以得到更大範圍 視場放大倍率：高質量分立放大倍率鏡頭：2.5X,10X,50X（標配） 光源：均勻成像，高效率，特殊設計長壽命白光LED 物鏡座標配：可快速裝卸單物鏡夾具 控制 ：濾光板托架，視場光闌（輔助聚焦） 測量陣列：標配1024×1024 像素；可選解析度：512×512，1024X160像素。
主要功能
表面三維形貌分析。
