表面形貌儀是一種用於材料科學領域的計量儀器，於2007年12月12日啟用。
表面形貌儀是一種用於材料科學領域的計量儀器，於2007年12月12日啟用。技術指標 1.重複性7.5？ 2.最大測量範圍80mm 3.垂直測量範圍327um 4.垂直解析度13um,0.01 ？ 5.垂直解析度64um, 0.04？ 6.垂直解析度327um,0.2？。主...
表面形貌分析儀是一種用於信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年1月8日啟用。技術指標 Z方向範圍: 0-327μm，精度≤0.1 nm ；台階高度重現性≤0.6nm； 探針半徑2um，壓力0....
三維表面形貌儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器，於2016年06月01日啟用。技術指標 工作平台：可接納樣品不小於150x150mm，XY解析度0.078um，掃描平整度＜1um/100mm，Z的量程2nm到50um 測量光筆1:量程>300um，精度0...
表面三維形貌儀是一種用於數學領域的計量儀器，於2008年1月1日啟用。技術指標 放大倍數為25倍、100倍、500倍垂直掃描範圍：30 μm 、100μm、5mm、10mm 垂直掃描解析度：0.01nm解析度：752×480像素（可選1k×1k ）側向解析度：0....
《新型表面形貌測量儀器》是在2008年2月1日科學出版社出版的圖書。本書主要介紹了 表面形貌測量儀器的發展、三種表面形貌測量儀器、表面形貌測量儀器的關鍵部件等內容。...
表面三維形貌分析儀是一種用於化學領域的分析儀器，於2017年1月1日啟用。技術指標 1、解析度：二維解析度要求達到0.12微米。垂直解析度0.01微米。 2、雷射光源：採用405nm短波長半導體雷射,壽命≥10000小時；雙光路共焦系統。 3、放大...
三維非接觸式表面形貌儀是一種用於材料科學、礦山工程技術、冶金工程技術、機械工程領域的工藝試驗儀器，於2007年01月06日啟用。技術指標 50X、10X、2.5X解析度：752X480像素、1000X1000像素、Z軸方向解析度5nm。主要功能 機械測量。
精密表面形貌測量儀是一種用於工程與技術科學基礎學科、機械工程、航空、航天科學技術領域的計量儀器，於2011年6月30日啟用。技術指標 精度: 優於λ/100峰谷值;儀器精度: λ/1000均方根值;峰谷值重複性: λ/300;均方根值重複性: ...
表面形貌及應力測試儀 表面形貌及應力測試儀是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的物理性能測試儀器，於2013年5月10日啟用。技術指標 溫度400°C; 晶圓最大尺寸：12寸。主要功能 測試晶圓的翹曲。
最大縱向解析度：10nm； 配置360度轉軸，可掃描物體的整體3D模型進行分析測量。主要功能 微觀幾何形狀尺寸測量，幾何結構參數無損測量。微觀表面形貌分析，微觀表面平面度、粗糙度、面粗糙度及表面缺陷的測量與分析。
自動變焦三維表面形貌儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器，於2014年5月8日啟用。技術指標 位移範圍(X、Y、Z軸)：100×100×100mm 樣品表面結構：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2µm 最大掃描面積：10000mm2 最小測量...
磨斑表面形貌測量儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2019年12月17日啟用。技術指標 Z聚焦精度不低於1μm ，Z向解析度優於1μm；熱處理及分析模組：可微小磨損樣品、局部材料提取物等進行加熱氧化、低溫處理。溫度範圍：-150℃~...
菲索型，共光路;快速條紋採樣系統(QFAS) (雙光點定位於十字線);光學中心線：4.25″（108mm）;雷射光源：氦-氖雷射，Ⅲa級;成像解析度優於 ：1024x1024;。主要功能 用於精密微納器件或元件表面輪廓、表面形貌以及表面平整度測量。
線性度 重複性≤0.1% 小於20nm或者0.1%。主要功能 三維表面形貌測試系統主要用於自動測量樣品的二維、三維表面形貌、表面粗糙度、關鍵尺寸（包括高度、孔洞深度、長度等）、關鍵部位的面積和體積等所有的ISO表面參數。樣品粗糙度測量。
1、放大倍數：4倍-100萬倍；2、最低解析度：1nm；3、加速電壓：200V-30KV；4、樣品室直徑：300mm寬，420mm深。主要功能 1、配備BSE探頭可以觀察不同組分的樣品表面形貌成分相圖。2、配備能譜儀可以對樣品表面缺陷進行成分分析。
表面分析是對固體表面或界面上只有幾個原子層厚的薄層進行組分、結構和能態等分析的材料物理試驗。也是一種利用分析手段,揭示材料及其製品的表面形貌、成分、結構或狀態的技術。中文名 表面分析 外文名 surface analysis 分析內容 表面...
於2014年7月8日啟用。技術指標 解析度＜0.01MM。主要功能 對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析。
表面形貌觀察系統是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器，於2018年9月18日啟用。技術指標 測量精度:0.19um；載物台行程：X、Y軸100mm，Z軸49mm，XY自動平台移動速度20mm/s,Z軸移動速度17mm/s，幀率50F/s。主要功能 主要用於加工...
可用於物體表面三維形貌和變形測量。由於該系統既可配備10倍變焦遠距離顯微成像鏡頭,也可配備普通變焦鏡頭,使得該系統能同時滿足細觀及巨觀的測量要求。不僅可用於微電子、生物、微機械等微細結構的形貌及變形測量,也可用於混凝土結構、岩土...
10～2,000,000x。主要功能 有超高解析度，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、背散射電子成像。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力。
標配） 光源：均勻成像，高效率，特殊設計長壽命白光LED 物鏡座標配：可快速裝卸單物鏡夾具 控制 ：濾光板托架，視場光闌（輔助聚焦） 測量陣列：標配1024×1024 像素；可選解析度：512×512，1024X160像素。主要功能 表面三維形貌分析。
三維光學干涉形貌儀 三維光學干涉形貌儀是一種用於航空、航天科學技術領域的物理性能測試儀器，於2007年10月17日啟用。技術指標 高度解析度：0.1 A。主要功能 表面微觀形貌測試。
表面測試系統 表面測試系統是一種用於機械工程領域的特種檢測儀器，於2006年12月6日啟用。技術指標 最大10萬倍放大倍數。主要功能 對表面形貌進行測試。
三維表面輪廓測定儀 三維表面輪廓測定儀是一種用於材料科學領域的特種檢測儀器，於2007年8月1日啟用。技術指標 縱向解析度：2nm 橫向解析度：5um 放大倍數：100，200，500，600。主要功能 磨損表面形貌分析。
三維非接觸式光學表面輪廓儀是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2014年12月10日啟用。技術指標 垂直測量範圍27mm 垂直解析度2nm X-Y掃描速度20mm/s。主要功能 各種化學電源的電極、催化劑和關鍵膜材料的表面形貌、粗糙度、表面...
反映加工表面粗糙度特性的最小長度。2、濾波器的高、低通取樣長度和頻寬比的選用也對測量結果有著十分重要的影響。取樣波長是表面形貌測量時，儀器回響的表面特性（ 表面波長） 的最長間距，其範圍通常是 0.08mm～ 8mm。
它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模組、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D圖像，通過系統軟體對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測...
