表面成分分析儀

表面成分分析儀是一種用於數學領域的計量儀器，於2016年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面成分分析儀
• 產地：英國
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2016年12月1日
• 所屬類別：計量儀器 > 電子學計量儀器

技術指標

解析度：（二次電子、高真空）15kV時1.2nm、 1kV時2.2nm加速電壓：0.02～30KV放大倍數：10～2,000,000x。

主要功能

有超高解析度，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、背散射電子成像。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力。