表面成分分析儀是一種用於數學領域的計量儀器,於2016年12月1日啟用。
基本介紹
- 中文名:表面成分分析儀
- 產地:英國
- 學科領域:數學
- 啟用日期:2016年12月1日
- 所屬類別:計量儀器 > 電子學計量儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
解析度:(二次電子、高真空)15kV時1.2nm、 1kV時2.2nm加速電壓:0.02~30KV放大倍數:10~2,000,000x。
主要功能
有超高解析度,能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、背散射電子成像。 具有高性能x射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化學組分綜合分析能力。