表面缺陷分析儀

表面缺陷分析儀是一種用於數學領域的分析儀器，於2011年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面缺陷分析儀
• 產地：捷克
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2011年12月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

1、放大倍數：4倍-100萬倍；2、最低解析度：1nm；3、加速電壓：200V-30KV；4、樣品室直徑：300mm寬，420mm深。

主要功能

1、配備BSE探頭可以觀察不同組分的樣品表面形貌成分相圖。2、配備能譜儀可以對樣品表面缺陷進行成分分析。