電子束表面分析儀

電子束表面分析儀是一種用於數學領域的物理性能測試儀器，於2016年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子束表面分析儀
• 產地：日本
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2016年12月1日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 顆粒度測量儀器 > 孔隙度／比表面測量儀

技術指標

SE解析度 15kV：0.8nm (工作距離≥3mm)1kV：1.1nm（工作距離≥1.2mm，減速模式）。

主要功能

冷場發射高分辨掃描電子顯微鏡配備新型場發射電子槍，使得束流更大、更穩定，具有超高解析度能力，低加速電壓下（1kV）二次電子解析度可達1.1nm。 配備Bruker FlatQuad型平插式X射線能譜儀，可對樣品進行高分辨元素分析。套用於生物、化學等納米尺度材料的結構和成分分析。