三維光學表面輪廓儀是一種用於化學領域的分析儀器，於2018年12月31日啟用。
基本介紹
- 中文名：三維光學表面輪廓儀
- 產地：中國
- 學科領域：化學
- 啟用日期：2018年12月31日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
測量光歡煉設束直徑：6″;光路：菲索型，共光路;快速條紋采習項甩朵樣系統(QFAS) (雙光點定位於十字線);光學墓甩嘗中心線：4.25″（108mm）;雷射光源：氦樂乎組-氖雷射，Ⅲa級;成像解析度遷櫻墊優於 ：1024x1024;。
主要功能
用於精密微納器件或元肯煮詢寒件表面輪廓、表面估頁形貌以及表面平整度測量。
