3D形貌測量儀

3D形貌測量儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的儀器，於2011年12月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D形貌測量儀
• 產地：中國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2011年12月5日

技術指標

測量範圍：100mm×100mm×100mm； 最大縱向解析度：10nm； 配置360度轉軸，可掃描物體的整體3D模型進行分析測量。

主要功能

 微觀幾何形狀尺寸測量，幾何結構參數無損測量。微觀表面形貌分析，微觀表面平面度、粗糙度、面粗糙度及表面缺陷的測量與分析。