自動變焦三維表面形貌儀

自動變焦三維表面形貌儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器，於2014年5月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：自動變焦三維表面形貌儀
• 產地：奧地利
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2014年5月8日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

位移範圍(X、Y、Z軸)：100×100×100mm 樣品表面結構：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2µm 最大掃描面積：10000mm2 最小測量粗糙度（Ra）：30nm。

主要功能

表面形貌測量、粗糙度測量、表面紋理測量、體積測量、二維圖像測量、形狀測量、偏差測量、輪廓測量、刃口測量。