表面三維形貌儀

表面三維形貌儀是一種用於數學領域的計量儀器，於2008年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面三維形貌儀
• 產地：美國
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2008年1月1日
• 所屬類別：計量儀器

技術指標

放大倍數為25倍、100倍、500倍垂直掃描範圍：30 μm 、100μm、5mm、10mm 垂直掃描解析度：0.01nm解析度：752×480像素（可選1k×1k ）側向解析度：0.11-8.8 μmRMS重複精度：1nm視場範圍：8mm×10mm-0.084mm×0.063mm校正精度：＜＜0.1%反射要求：1%-100%。

主要功能

非接觸式樣品表面形貌測量，對樣品本身沒有損傷，用於材料三維表面輪廓測量和粗糙度測量，台階高度測量，磨痕深度測量，寬度和體積定量測量，空間分析和表面紋理表征，平面度和曲率測量，二維薄膜應力測量，表面質量和缺陷檢測等。