三維表面形貌儀

三維表面形貌儀是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的計量儀器，於2016年06月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維表面形貌儀
• 產地：法國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2016年06月01日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 表面粗糙度基準裝置

技術指標

工作平台：可接納樣品不小於150x150mm，XY解析度0.078um，掃描平整度＜1um/100mm，Z的量程2nm到50um 測量光筆1:量程＞300um，精度0.06um，解析度(Z向)0.012um，解析度(側向)1.55um 測量光筆2：量程 ＞2500um，精度0.4um，解析度(Z向)0.075um，解析度(側向)4um。

主要功能

粗糙表面微觀幾何形貌定量測量。