三維形貌與測厚儀

三維形貌與測厚儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2014年11月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維形貌與測厚儀
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年11月20日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

. 顯微鏡：Multimode SPM掃描頭橫向(X-Y)範圍40μm×40μm豎直(Z)範圍20μm2. 噪聲：垂直(Z)方向上的RMS值＜0.3埃 3. 樣品大小：直徑≤15mm厚度≤5mm。

主要功能

微觀形貌。