非接觸光學三維形貌測量系統

非接觸光學三維形貌測量系統是一種用於機械工程領域的物理性能測試儀器，於2007年12月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：非接觸光學三維形貌測量系統
• 產地：英國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2007年12月27日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

垂直解析度1.0A。

主要功能

該儀器具有超高解析度，超高精度能做各種固態樣品表面三維微觀形貌。有數字量輸出功能。