光學式形貌測量儀

光學式形貌測量儀是一種用於物理學、生物學、基礎醫學、材料科學領域的計量儀器，於2010年2月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學式形貌測量儀
• 產地：英國
• 學科領域：物理學、生物學、基礎醫學、材料科學
• 啟用日期：2010年2月14日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 台階高度測量儀

技術指標

Z Range:2.2mm after stiching＞10mm Resolution:0.01nm。

主要功能

通過光學的方法，非接觸測量樣品的三維表面形貌。