台階儀

台階儀屬於接觸式表面形貌測量儀器。根據使用感測器的不同，接觸式台階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由於表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。感測器輸出的電信號經測量電橋後，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流後，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調製頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

產品簡介

如下圖所示：

為一典型台階儀外觀圖，包括台階儀本體、隔振台、印表機、電腦等。

主要種類

電感式採用電感位移感測器作為敏感元件，測量精度高、信噪比高，但電路處理複雜；壓電式的位移敏感元件為壓電晶體，其靈敏度高、結構簡單，但感測器低頻回響不好、且容易漏電造成測量誤差；光電式是利用光電元件接收透過狹縫的光通量變化來檢測位移量的變化。

產品特點

台階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重複性好，此外它還可以作為其它形貌測量技術的比對。但是也有其難以克服的缺點：

1由於測頭與測件相接觸造成的測頭變形和磨損，使儀器在使用一段時間後測量精度下降；

2測頭為了保證耐磨性和剛性而不能做得非常細小尖銳，如果測頭頭部曲率半徑大於被測表面上微觀凹坑的半徑必然造成該處測量數據的偏差；

3為使測頭不至於很快磨損，測頭的硬度一般都很高，因此不適於精密零件及軟質表面的測量。