非接觸三維表面輪廓儀

非接觸三維表面輪廓儀是一種用於物理學、化學領域的物理性能測試儀器，於2015年10月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：非接觸三維表面輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、化學
• 啟用日期：2015年10月9日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

垂直測量量程： 0.1 nm至250 um 精密壓電陶瓷掃描 垂直方向的解析度： 0.1 nm RMS測量的重複性： 0.01 nm 橫向解析度： 不低於0.5 μm（50x物鏡） 最大可測量樣品尺寸: 400 mm x 400 mm 最大可測量樣品高度: 75 mm。

主要功能

潤滑油、潤滑脂等潤滑材料的在不同材質摩擦副表面的減磨抗磨作用後，摩擦副表面會有微觀差異。通過微觀表面分析，考察潤滑材料的潤滑性能；採用非接觸式的光干涉測量方獲取微觀三維（3D）形貌輪廓，測量表面粗糙度、膜厚以及磨損量；。