場發射高分辨電子顯微鏡

場發射高分辨電子顯微鏡

場發射高分辨電子顯微鏡是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器,於2005年8月6日啟用。

基本介紹

  • 中文名:場發射高分辨電子顯微鏡
  • 產地:日本
  • 學科領域:物理學、材料科學
  • 啟用日期:2005年8月6日
  • 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

性能指標:點解析度0.19 nm,線解析度0.14 nm,EELS能量譜解析度0.7 eV,EDS能量解析度136 eV。

主要功能

固體材料結構和成分分析。

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