FEI場發射掃描電子顯微鏡

FEI場發射掃描電子顯微鏡

FEI場發射掃描電子顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2014年4月24日啟用。

基本介紹

  • 中文名:FEI場發射掃描電子顯微鏡
  • 產地:美國
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2014年4月24日
  • 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

二次電子解析度 15KV時優於0.8nm,1KV時優於0.9nm;STEM模式,BF像 30KV時優於0.6nm。

主要功能

帶能量單色過濾器,超高解析度熱場發射掃描電鏡,低加速電壓下具有較高的解析度,能夠直接觀察不導電材料的顯微結構,熱場發射肖特基電子槍,束流大,且穩定,電子束流連續可調。

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