冷場場發射掃描電子顯微鏡

冷場場發射掃描電子顯微鏡是一種用於物理學、化學、生物學、材料科學領域的分析儀器，於2017年3月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：冷場場發射掃描電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：物理學、化學、生物學、材料科學
• 啟用日期：2017年3月22日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

解析度 1.0nm @ 15kV,能譜解析度133eV(Mn Ka),分析元素B（5）-- U（92）。

主要功能

本儀器具有高的解析度，放大倍率幾十倍到幾十萬倍連續可調，可觀察物體二次電子 像、背散射電子像，同時可進行X射線能譜分析： 1. 固體物質表面形貌觀察可廣泛套用於生物、物理、化學、納米材料、金屬材料、高分子材料等方面的表面形貌觀察、粒度測量、積體電路質量檢驗、斷口分析、失效分析等。 2. 背散射電子像（BSE）背散射電子可顯示出試樣微區原子序數或化學成分的差異，即試樣的成分襯度。根據背散射電子像的亮暗程度，可判別出相應區域的原子序數的相對大小，由此可對陶瓷、金屬或合金等材料的顯微結構進行分析。