蔡司場發射掃描電子顯微鏡

蔡司場發射掃描電子顯微鏡是一種用於能源科學技術領域的分析儀器，於2015年8月14日啟用。

基本介紹

• 中文名：蔡司場發射掃描電子顯微鏡
• 產地：德國
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2015年8月14日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

掃描速度：標配提供17種非隔行電子束掃描速度，從25ns像素駐留時間到1.64ms像素駐留時間。樣品倉尺寸: 120mm Ø x 120mm high(4.75 x 4.75) 。樣品座：12 SEM ½ 樣品座，可調節高度最大高度60mm。

主要功能

掃描電鏡利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試樣品表面形貌的觀察。並配有能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析。