超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡

超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2007年07月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2007年07月21日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1. 解析度 高真空模式　1.0nm @ 15kv；1.8nm @ 1kv；0.8nm @ 30kv（stem探測器）；低真空模式　1.5nm @ 10kv（helix探測器）；1.8nm @ 3kv（helix探測器）；2. 加速電壓 200v - 30kv,連續可調；3. 電子束流範圍 0.3pa - 2。

主要功能

（1）觀測材料表面形貌；（2）微區元素分析；（3）電子束曝光製作微納器件；（4）納米機械手原位測量納米材料和器件的電學性能；（5）STEM可觀察5nm以下樣品形貌。