高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡

高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2015年9月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡
• 產地：英國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年9月11日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

15kV解析度0.6nm，1kV解析度1.6nm。

主要功能

測試樣品表面形貌及微區成分。