高分辨場發射掃描電子顯微分析系統

高分辨場發射掃描電子顯微分析系統

高分辨場發射掃描電子顯微分析系統是一種用於物理學、化學領域的分析儀器,於2015年9月24日啟用。

基本介紹

  • 中文名:高分辨場發射掃描電子顯微分析系統
  • 產地:美國
  • 學科領域:物理學、化學
  • 啟用日期:2015年9月24日
  • 所屬類別:分析儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

解析度: 二次電子(SE)像,高真空模式:15 kV時1.0 nm,1 k V時優於1.4 nm(非減速模式),低真空模式:30 kV時1.8nm;放大倍率:範圍35 ~ 1,000,000倍;著陸電壓:50V ~ 30 kV;電子槍:肖特基場發射電子槍;電子束流:0.6pA ~ 200 nA,連續可調。

主要功能

本設備主要面向金屬、半導體、陶瓷、納米材料、功能材料、催化劑的研究和技術開發,用於觀察分析以上固體物質和材料的表面形貌和組織結構,不同物質的組分及元素分布,多晶體取向分析等。

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