超高分辨熱場發射掃描電鏡

超高分辨熱場發射掃描電鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2013年9月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高分辨熱場發射掃描電鏡
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2013年9月10日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡

技術指標

加速電壓0.3-30kV，解析度1nm，放大倍數18倍至30萬倍連續可調，成像信號：二次電子、背散射電子和特徵X射線。

主要功能

固體物質表面形貌觀察和成分分析。