原子沉積系統

原子沉積系統是一種用於材料科學、機械工程、能源科學技術領域的計量儀器，於2012年12月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：原子沉積系統
• 產地：芬蘭
• 學科領域：材料科學、機械工程、能源科學技術
• 啟用日期：2012年12月19日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀

技術指標

1、10–200mm/單片,最大可沉積直徑150mm基片，豎直放置，10-25片/批次（根據工藝）,156mmx156mm太陽能矽片；3D複雜表面襯底,粉末與顆粒,多孔，通孔，高深寬比（HAR）樣品；；2、50–500℃,可選更高溫度。

主要功能

能夠沉積高質量薄膜，即使襯底結構十分複雜，如多孔材料、高深寬比的溝槽或者納米顆粒,沉積的薄膜均勻性也極其優異。Picosun功能強大、易更換的固、液、氣態前驅體輸運系統確保可以在矽平面基片，3D複雜基片及所有納米尺度的特徵器件上製備無顆粒的薄膜。