雙腔型等離子增強原子層沉積系統

雙腔型等離子增強原子層沉積系統是一種用於物理學、化學領域的工藝試驗儀器，於2017年6月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙腔型等離子增強原子層沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、化學
• 啟用日期：2017年6月29日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

由熱型和等離子反應腔組成的的兩個獨立的真空反應腔室組成。

主要功能

常見氧化物，氮化物以及貴金屬單質薄膜的沉積。