中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心成立於2009年4月，是中國科學院微電子研究所與浙江省嘉興市人民政府共同組建的技術轉移轉化、研發、中試和高新技術產業孵化的創新平台機構，是嘉興市編委批准設立的自收自支事業單位。
基本介紹
- 中文名：中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心
- 成立時間：2009年4月
現有研發區面積300餘平方米，位於南湖科創中心JRC大樓A區，中試孵化區面積1280平方米，位於中科院嘉興中心中試產業化基地，並正在規劃建設10畝的產業示範區。現有研發團隊21人，其中博士生導師3人，中科院“百人計畫”特聘研究員1人，博士學位4人，在讀博士生6人，碩士4人。現有資產300萬元，其中儀器設備200萬元。
中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心主要致力於電漿技術的產業化套用轉化工作，依託中國科學院微電子研究所微電子設備技術研究室雄厚的研發力量、人才優勢和綜合技術實力，結合嘉興及周邊地區發達的產業基礎、創新體制以及強有力的政府支持，工程中心成功研製出電漿紡織前處理設備、KE-320型高亮度LED圖形化襯底刻蝕系統、KMT-200A&KMP-200B原子層沉積系統、電漿低溫滅菌櫃、ICP-98C型高密度電漿刻蝕機、PIII-ICP08A電漿浸沒式離子注入機、電漿化驗單滅菌消毒設備、HQ-8B型電漿增強化學氣相澱積系統(PECVD)和SE-3型太陽能電池刻蝕機；並成功開發出攜帶型等離子表面處理設備商業樣機，社會反映良好。
中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心的電漿薄膜線上連續功能化處理設備和電漿纖維處理設備的樣機也進入中試階段，計畫年內完成商業樣機的開發工作。
