電漿增強型原子層澱積系統

電漿增強型原子層澱積系統是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2015年12月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：電漿增強型原子層澱積系統
• 產地：英國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2015年12月11日
• 所屬類別：電子測量儀器

技術指標

反應腔：24cm/8/加熱溫度：25-400℃。

主要功能

等離子態分析。