等離子增強原子層沉積系統是一種用於物理學領域的儀器，於2015年08月28日啟用。
基本介紹
- 中文名：等離子增強原子層沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2015年08月28日
技術指標,主要功能,
技術指標
膜厚納米級，誤差小於正負1%。
主要功能
等離子增強原子層沉積系統。
等離子增強原子層沉積系統
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