《原子層沉積技術——原理及其套用》是2016年科學出版社出版的圖書，作者是李愛東。
基本介紹
- 中文名：原子層沉積技術——原理及其套用
- 作者：李愛東
- ISBN：9787030483751
- 類別：材料科學
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2016-06
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書是面向研究生和從事材料研發等相關行業的科研人員系統介紹原子層沉積技術原理及其套用的一本專業書籍，共13章。包括原子層沉積的發展歷史、原理、前驅體、沉積材料及其理論計算與模擬等基礎內容，又著重論述電漿增強原子層沉積和分子層沉積技術，還涉及了原子層沉積在微電子、納米技術、光學、能源、催化和生物醫學領域的套用。本書內容豐富新穎，在注重原子層沉積基本原理和生長機制闡述的同時，又突出了原子層沉積製備材料的先進性和套用的前沿性，反映了原子層沉積技術中的一些最新進展和成果，是先進技術原理與實際套用的有機結合。
圖書目錄
前言
第1章原子層沉積技術概述
第2章原子層沉積原理
第3章原子層沉積前驅體
第4章原子層沉積材料與生長機理
第5章原子層沉積理論計算與模擬
第6章電漿增強原子層沉積技術及其套用
第7章分子層沉積及其套用
第8章原子層沉積在微電子領域的套用
第9章原子層沉積在納米技術領域的套用
第10章原子層沉積在光學領域的套用
第11章原子層沉積技術在能源領域的套用
第12章原子層沉積在催化領域的套用
第13章原子層沉積在生物醫學領域的套用
