電漿增強原子層沉積系統

電漿增強原子層沉積系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的分析儀器，於2017年10月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：電漿增強原子層沉積系統
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學
• 啟用日期：2017年10月24日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器

技術指標

Savannah G2 s200。

主要功能

測量用。