等離子加強原子層沉積是一種用於信息科學與系統科學領域的科學儀器，於2017年10月17日啟用。
基本介紹
- 中文名：等離子加強原子層沉積
- 產地：美國
- 學科領域：信息科學與系統科學
- 啟用日期：2017年10月17日
技術指標,主要功能,
技術指標
FIJI F200。
主要功能
等離子加強原子層沉積系統。
等離子加強原子層沉積
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