高級型原子層沉積系統

高級型原子層沉積系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的儀器，於2017年11月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：高級型原子層沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學
• 啟用日期：2017年11月21日

技術指標

380v，lishi。

主要功能

測量用。