台式三維原子層沉積系統

台式三維原子層沉積系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2015年6月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：台式三維原子層沉積系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年6月8日

技術指標

400℃以下，原子級別薄膜沉積。

主要功能

薄膜製備。