原子層化學氣相澱積系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2013年10月21日啟用。
基本介紹
- 中文名：原子層化學氣相澱積系統
- 產地：芬蘭
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2013年10月21日
技術指標,主要功能,
技術指標
適合沉積納米層狀薄膜（2-200nm）。
主要功能
可以沉積二元、三元或更多元薄膜、梯度薄膜、（納米）疊層、摻雜薄膜。
原子層化學氣相澱積系統
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