高密度等離子刻蝕機

高密度等離子刻蝕機是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2014年10月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：高密度等離子刻蝕機
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年10月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

1、可加工片子尺寸：Ф150mm以內。 2、均勻性：±5% (4英寸矽片內)。

主要功能

薄膜材料刻蝕與加工。