電感耦合反應等離子刻蝕機

電感耦合反應等離子刻蝕機是一種用於物理學、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2018年6月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：電感耦合反應等離子刻蝕機
• 產地：英國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2018年6月8日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

能在最大直徑為200mm的晶圓上獲得均勻、快速的蝕刻速率。

主要功能

微納加工。