ECR刻蝕機

ECR刻蝕機是一種用於物理學領域的科學儀器，於2000年8月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：ECR刻蝕機
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2000年8月1日

技術指標

微波功率：0～1kW， 壓力：0.01～0.2kPa。

主要功能

矽片、玻璃等材料的刻蝕；功能薄膜材料的沉積；電漿改性。