電感耦合等離子刻蝕系統

電感耦合等離子刻蝕系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年4月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：電感耦合等離子刻蝕系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2015年4月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

6英寸SiO2,刻蝕速率＞200nm/min,6英寸Si3N4,刻蝕速率＞200nm/min,6英寸Si,刻蝕速率＞1000nm/min;片內均勻性優於±3%，重複性優於±3%。

主要功能

刻蝕Si,SiO2,Si3N4,III v族元素材料。