陳鵬(傑出青年中關村獎獲獎者)

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陳鵬,傑出青年中關村獎獲獎者,北京北方華創微電子裝備有限公司射頻工程中心總經理。

基本介紹

  • 中文名:陳鵬
  • 職業:北京北方華創微電子裝備有限公司射頻工程中心總經理
研究方向,所獲榮譽,人物影響,

研究方向

射頻與電漿技術。

所獲榮譽

2019年度北京市科學技術獎勵大會獲傑出青年中關村獎。

人物影響

陳鵬帶領團隊開發出電感耦合、電容耦合電漿技術,雙頻低損傷磁控濺射技術等多個射頻與等離子相關的技術,研發出射頻等離子系統,該系統是刻蝕機和PVD設備中的關鍵系統,使開發的刻蝕機和PVD打破了國外壟斷,實現量產。生產的刻蝕機、PVD等裝備在中芯國際、長江存儲等主要積體電路生產企業套用。

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