等離子一體刻蝕機

等離子一體刻蝕機是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，於2015年1月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：等離子一體刻蝕機
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學
• 啟用日期：2015年1月13日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電路板製造工藝實驗設備

技術指標

可刻蝕各種尺寸形狀的樣品， 最大面積達1000 cm2。

主要功能

薄膜刻蝕。