感應耦合電漿刻蝕設備

感應耦合電漿刻蝕設備是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器，於2013年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：感應耦合電漿刻蝕設備
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2013年12月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

均勻性＜3％。

主要功能

刻蝕。