電感耦合電漿刻蝕機

電感耦合電漿刻蝕機是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2014年6月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：電感耦合電漿刻蝕機
• 產地：英國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2014年6月24日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

Model type: Plasmalab 100-ICP180; Frequency: 50Hz； Rated Voltage：415 VAC 3 Max Rated Input Current：42Amps interrupt Current: 6KA。

主要功能

氧化矽、氮化矽介質與氮化鈦金屬刻蝕。