感耦合電漿刻蝕機是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的計算機及其配套設備，於2017年4月17日啟用。
基本介紹
- 中文名：感耦合電漿刻蝕機
- 產地：英國
- 學科領域：信息科學與系統科學、物理學
- 啟用日期：2017年4月17日
- 所屬類別：計算機及其配套設備 > 軟體 > 軟體
技術指標,主要功能,
技術指標
PlasmaPro。
主要功能
測量用。
感耦合電漿刻蝕機
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